CL系列探针台使用说明书

 1、产品介绍：


	1.1   特点和用途


	CL系列 分为CL-4，CL-6，CL-8三个规格


	CL系列探针台测量精度高，操作方便，符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。


	同类案例：北京大学微纳加工实验室，*大学材料系，成都电子科技大学，西南科技大学，中科院半导体所，中科院苏州纳米研究院，世纪晶圆，方正微电子等数十

客户。


	 1.2  探针台结构功能


	 


	总体


	规格特点                                                                                          


	●  重量:


	         CL-4 50KG左右（带显微镜）


	         CL-6 60KG左右（带显微镜）


	         CL-8 80KG左右（带显微镜）


	●  尺寸：


	         CL-4约 560mm宽*610mm长*550mm高（带显微镜）  


	         CL-6 约600mm长*650mm宽*600mm高（带显微镜）


	         CL-8 约640mm长*720mm宽*620mm高（带显微镜）


	  


	 


	探针座台面规格


	●  探针台台面平整度：5μm。


	●  CL-4台面可以同时容纳8-10个探针座


	   CL-6，CL-8分别可以同时容纳10-12个探针座


	   CL-12台面可以同时容纳12个以上探针座


	卡盘（载物台）规格  （可选配镀金卡盘，高温加热卡盘）


	●  卡盘尺寸分为4" ，6"，8"三种


	卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径较小可做到250微米（可根据客户需求定制孔径大小），较小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，较大能够吸住尺寸为4"X4"（6"X6"，8"X8"）。


	●  卡盘可30度旋转，方便点测时样品在X-Y轴方向上调平。（根据客户需要可定制为360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮）。


	●  卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为4"X4"（6"X6"，8"X8"），移动精度为20um，配合针座的移动可以保证wafer上的die都能够准确点测到。
 

探针座&探针夹具：


	
		
			
				
					针座规格
				
			
			
				
					CB-200型
				
			
			
				
					CB-100型
				
			
			
				
					CB-40-T型
				
			
			
				
					CB-40型
				
			
		
		
			
				
					尺寸
				
			
			
				
					90mmW x 130mmD x 90mmH
				
			
			
				
					90mmW x 130mmD x 90mmH
				
			
			
				
					52mmW x 96mmD x 76mmH
				
			
			
				
					38mmW x 62mmD x 45mmH
				
			
		
		
			
				
					重量
				
			
			
				
					1000 克
				
			
			
				
					600 克
				
			
			
				
					300克
				
			
			
				
					200 克
				
			
		
		
			
				
					精度
				
			
			
				
					0.35 Micron
				
			
			
				
					0.7 Micron
				
			
			
				
					2 Micron
				
			
			
				
					10 Micron
				
			
		
		
			
				
					牙具
				
			
			
				
					200牙/寸
				
			
			
				
					牙具 100牙/寸
				
			
			
				
					80牙/寸
				
			
			
				
					40牙/寸
				
			
		
		
			
				
					X-Y-Z线性行程
				
			
			
				
					12mmX12mmX12mm
				
			
			
				
					12mmX12mmX12mm
				
			
			
				
					12mmX12mmX12mm
				
			
			
				
					12mmX12mmX12mm
				
			
		
	


体式显微镜（选配）


	规格


	l 本显微镜为连续变倍，变倍比为6.3：1


	l 光学系统内，连续变焦范围 0.8X～5X


	l 目镜放大倍率：20X


	l 物镜放大倍率：2X  (工作距离 ：34mm)


	l 总倍率：16X-100X


	l 双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52-75mm


	l 环形白色照明光源


	l 显微镜可以单独在XY方向微调，调节范围为2X2寸，调节精度为10微米


	l 显微镜在Z轴向的调节范围为50.8mm


	l 带C MOUNT，C MOUNT是CCD接口，可以接激光切割机。加上CCD后，配置一台pc，能够在pc的显示器上同步观察样品。同时，可以用pc控制CCD进行样品的相片采集和录像。


	 


	特点


	l 防静电功能：架台，变倍镜筒，20X目镜，辅助物镜等都具有防静电功能，这个功能在观察需要防静电的样品时（如半导体芯片等）很有用（若使用此功能时，可通过架台后面的地线插口将显微镜接地）


	l 密封功能：变倍镜筒，20X目镜都具有密封功能，当显微镜在油汽，水汽等湿度较高的环境中仍能较方便的使用


	l 创建性人机学设计，更加保证操作者长时间舒适操作


	l 具有高清晰度，大视场，长工作距离等特点，广泛应用与教学示范，生物工程，IT产业检测等领域 


 


	JVC模拟CCD   （选配）                            


	特点


	●  1/3寸CCD,44万像素


	●  535电视线的水平分辨率


	●  0.7Lux的较低照度（F1.2，25%，AGC开启）


	●  50dB的高信噪比（AGC OFF）


	●  内置10bit 数字图像处理器


	 


	Winfast XP100视频采集卡   （选配）                     


	特性


	●  可选择的影像来源信号


	可以提供不同的输入端子，使其能够连接不同的影像


	输出设备，如录放影机、家庭摄影机、雷射光碟机、


	影音光碟机及CCD摄影机，提供*的解决方案。                        


	●  可编辑剪接影像片段


	可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉，并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或一般的图形档，再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体，便可加入各种*与剪接编辑。


	
     探针


	美国GGB


	●  一般普通测试针分两种，硬针和软针，针尖直径在1micron以上称为硬针，在1micron以下称为软针，硬针用来点pad和扎穿pass，软针用来点metal和fib的mini pad


	●  探针针尖为须丝状固定于探针针杠，针尖为钨材质，针杠为镍，漏电在5fa以下。


	 
1.3 加热台




	品牌型号：CINDBEST  HT-400-4
      
       1.3.1  4英寸卡盘


	1.3.2  直流电源低噪音


	1.3.3  真空吸附：1.*吸附孔 2.二英寸盘面 3.四英寸盘面


	1.3.4  PID温度控制器分辨率:1℃


	1.3.5  温度漂移：≤0.01%FS/℃


	1.3.6  温度误差：室温加温到300度，任何一区段+-1%


	1.3.7  40段程序编排，前30段具备自动跳转功能


	 
1.4 附件



真空泵日东精工V70


	规格


	●  电压：AC220V


	●  流量：7L/min


	●  真空度：-60KPa


	●  质量：0.7Kg


	功能


	●  提供真空动力源。


	●  配合 CHUCK上的真空吸附孔来固定样品。


	●  配合真空吸附型探针座，固定探针座。


	特点


	●  无油静音，特别适合实验室和洁净室使用。


	●  7升/分钟，可24小时无间断运转。

   

防震桌：


	防震效果


	较小承重 @ 20 psi                           较大承重 @ 80 psi


	垂直本征频率      1.9HZ                   垂直本征频率     1.5Hz


	防震效率@ 5Hz     70%                     防震效率@ 5Hz    85%


	防震效率@ 10Hz    90%                     防震效率@ 10Hz   97%


	水平本振频率      2.2Hz                   水平本振频率     1.2Hz


	防震效率@ 5Hz     64%                     防震效率@ 5Hz    91%


	防震效率@ 10Hz    90%                     防震效率@ 10Hz   97%


	DVIO系列防震桌是专门为探针台量身定做。其防震效果远**一般光学显微镜用防震桌。


	防震性能保证：当配置100倍物镜，同时zoom扭至2x时，将图像通过ccd导致17寸显示器上，换算倍率可达4000倍（含显示器面积放大），此时，BD-6放置在工作中的防震桌上后，无抖动！


	验收标准：标准是按照较高要求，探针（软针）点在FIB制作的mini pad上，然后经过1个小时后，探针无移位，则验收合格。


	 


	 屏蔽箱（选配）：




	参数和特点


	●  尺寸：880mm宽x710mm长x1140mm高


	●  屏蔽光线和电磁干扰。


	●  匹配探针台和防震桌设计。


	●  可根据客户定制。


	●  与探针夹具配合可将测试电信号的漏电精度达到100fa ，可抗2000V高压。


	●  屏蔽箱上配备转接头，便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接。


	 


探针台安装：




	2.1 样品X-Y平移台安装


	●  取出样品X-Y平移台，拆开外封包装，将锁紧螺母（28）拧松，旋动平移台旋钮（27），检查平移台是否能够正常运行。


	●  确认平移台无故障后，选择合适的内六角柱头螺杆，将平移台安放在底板的中间位置，保证Y平移台中心点在U型平台缺口的中心下方。
     
       2.2 样品台安装（包括旋转与升降部分）


	●   打开样品台部件包装，分别调节快速旋转摇杆（21），旋转微调旋钮（22），快速升降摇杆（24），微调升降旋钮（23），检查各部件是否能够正常运行。


	●   确认各部件无故障后，选择合适的内六角柱头螺杆，将样平台部分平放于Y平台中心，对正螺孔，锁紧螺杆。


	 2.3显微镜安装


	● 安装显微镜X-Y平移台： 先把平移台垫高块放到Y平移台下，对好孔位，选择合适的螺杆拧紧；再将X平移台安装到Y平移台上，锁紧螺杆后，分别摇动X,Y轴的手轮（19,20）到较大行程，检查是否运行顺畅。


	● 安装显微镜倾仰盒： 将显微镜倾仰盒放置于X平移台上，找对孔位，选择合适螺杆锁紧；然后将显微镜立板安装到显微镜倾仰板上。


	● 安装显微镜： 取出显微镜，先找到合适的螺杆，一人托起显微镜对好孔位，另一人将螺杆锁紧。（此处需两人配合装配）


	 2.4 探针夹具安装


	● 使用配套螺丝将夹具倾仰安装固定到探针座上，可以根据需要进行上下调节位置


	● 将探针座摆放在U型平台上固定好，拧松倾仰夹头4个螺丝，把夹具金属杆放入限位孔内，调整合适位置后拧紧螺丝


	● 用镊子夹住探针中部，将弹簧夹具的弹簧压缩至探针固定孔露出，将探针插入固定孔，调整好位置后放松弹簧（注意：针尖脆弱，*碰弯）


       3.探针座点针测试


	3.1 固定样品


	将待测器件载入卡盘，调整好待测位置后,开启真空阀门控制开关，将WAFER/芯片或其它样品安全且牢固地吸附在卡盘上。


	 


	 


	3.2 观测待测位置


	打开光源，调整光源合适的亮度，使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将待观察点移动至显微镜下，同时调节显微镜的倍率，首先可放到低倍率找到待测点，使用样平台X-Y平移将待测点移动到视野正中间，再更换高倍率物镜，将影像调节清晰。


	 


	3.3 点针


	待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座上下左右三个旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，当视野中针尖有向前移动的趋势，证明已经接触。（也可以使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触）


	 


	3.4测试


	确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。


	 


	4、设备维护及保养                                                


	4.1 电源使用


	电源：220±10%，50—60Hz


	 


	4.2 避免碰撞


	探针台所使用的牙具为是非常精密的机械部件，在使用和运输过程中务必注意轻拿轻放，严禁磕碰，以免损坏仪器或影响机械精度。


	 


	4.3环境控制


	使用较佳温度范围为5℃～40℃，较佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。


	 


	4.4 机台清洁


	● 每次使用完毕后，需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免泥沙等污物将接口堵塞导致接触不良。


	● 探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以湿布轻轻擦拭并吹干即可。机体表面有黏着物，可用肥皂水清洗，避免以汽油、石油精、溶剂或喷雾式杀虫剂喷之，以避免发生变色现象。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.


	● 定期使用润滑油或润滑脂对活动结构进行清洁和保护。


	● U型平台要定期用无水酒精清洗，使用防锈油浸泡一天，然后再使用无水酒精擦拭干净。


	 


	4.5不要随意拆卸


	不当的拆卸可能造成仪器损坏或降低精度与性能，因此，除非是特别*可以拆开的部位，否则不要随意拆卸机械结构。