晶圆探针台深圳供应商，广东省实验检测CL-6分析探针测试台

CL-6探针测试台


一、产品介绍
CL系列 测量精度高，操作方便，符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。



二、工作环境
?探针台应放在稳定可靠的台面上，较好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。

?使用较佳温度范围为5℃～40℃，较佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。

?使用电源：220±10%，50~60Hz




三、技术参数：
1、主要性能参数：
规格
Chuck（可选）:	4" 或6" 不锈钢，真空吸附型，独立开关控制
Chuck X-Y轴行程:  6" x6" 不锈钢
Chuck 旋转角度:	0~360 度
Chuck 旋转角度微调精度:	0.01°
Chuck快速升降（选配）:	4mm 
针座平台:	U型设计，可放置8个BT 型针座，可扩展为O型平台
针座平台平整度:	5 um
需求:
电力	220 VAC, 60Hz
?	
真空	-250 mmHg, 7 liter/min
?
尺寸:
920mm宽*660mm长*700mm高（带显微镜）
重 100 Kg（带显微镜）

　
可选附件
激光切割
加热台
防震桌
显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测
光强/波长测试接口部件
射频测试探头和线缆
有源探头
低电流/电容测试
高压测试
CCD视频系统
液晶漏电分析套装
屏蔽箱
镀金Chuck






四、探针台配件
1、体式显微镜  （可选配高倍率晶相显微镜）

产品参数和特点：
①　鉴别力高，视场范围大，景深长。
②　工作距离长至115mm。
③　左右目镜屈光度可调正负5度，能满足不同视力的操作者观察。
④　 能随意调节手轮的力矩，满足不同操作者的使用习惯，更可以锁定手轮，方便定倍观察。
⑤　本显微镜为连续变倍，变倍比为6.3：1 ，物镜变倍范围0.8X-5X。
⑥　 双目观察倾斜45度，双瞳距调节范围52-75mm.

产品优点：
产品造型比较新颖
机械特性优越，操作舒适度高。
光学系统鉴别力达300线对以上，符合国际标准
**长的工作距离位于国内****
*有的3A设计
创见性人机学设计，产品细节考虑全面。
3A特性：
密封性-------防尘,防油\防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘\防油\防水或其它污染-----这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性------使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此*有的设计保证了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电------防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
应用领域：
教学示范，生物工程,IT产业检测，材料分析等领域。





2、针座和探针夹具（可选）

针座规格	BT-200型	BT-100型	BT-40-T型	BT-40型
尺寸	90mmW x 130mmD x 90mmH	90mmW x 130mmD x 90mmH	52mmW x 96mmD x 76mmH	38mmW x 62mmD x 45mmH
重量 	1000 克	600 克	300克	200 克
精度	0.35 Micron	0.7 Micron	2 Micron	10 Micron
牙具	200牙/寸	牙具 100牙/寸	40牙/寸	40牙/寸
X-Y-Z线性行程	12mmX12mmX12mm	12mmX12mmX12mm	12mmX12mmX12mm	12mmX12mmX12mm

3、JVC模拟CCD 
特点：
?1/3寸CCD,44万像素
?535电视线的水平分辨率
?0.7Lux的较低照度（F1.2，25%，AGC开启）
?50dB的高信噪比（AGC OFF）
?内置10bit 数字图像处理器

Winfast XP100视频采集卡  
特性：
1.1可选择的影像来源信号
可以提供不同的输入端子，使其能够连接不同的影像
输出设备，如录放影机、家庭摄影机、雷射光碟机、
影音光碟机及CCD摄影机，提供*的解决方案。                        
1.2可编辑剪接影像片段
可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉，并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或一般的图形档，再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体，便可加入各种*与剪接编辑

4、探针夹具

●  弹簧式 
使用便利，可用于较短时间的大电流（**过1安培）稳定性好，采用进口同轴线缆，较高精度漏电为10PA，输出BNC（male）接头

●  管状式
测量微弱电流用，同时可接高压，采用进口triax线缆，前端管装屏蔽结构，漏电小于100FA，高压可耐1000V（需要配合屏蔽箱）


5、探针
美国GGB
型号	   针尖直径	   针杆直径	   针长	     材质	    根/盒


软针类:适用于集成电路内部线路点针


T-4-5 	   0.2 微米	     0.51mm	   51mm	    硬钨材质	     5
	0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上	?
T-4-10 	   0.7 微米	     0.51mm	   51mm	    硬钨材质	     5
	0.7 微米针须焊接于镍质针杆上?	


硬针类:适用于集成电路电极点针


ST-20-0.5	1 微米	     0.51mm	   38mm      硬钨材质	     10
ST-20-1.0	2?微米	     0.51mm	   38mm	     硬钨材质        10
ST-20-2.0	5 微米	     0.51mm	38mm/20mm   硬钨/铍铜材质    10
ST-20-5.0	10 微米      0.51mm	38mm/20mm   硬钨/铍铜材质    10
ST-20-10	20 微米      0.51mm	38mm/20mm   硬钨/铍铜材质    10
6、真空泵 
日东工器VP0125
规格：
?电压：AC220V
?流量：7L/min            
?真空度：-60KPa 
?质量：0.7Kg
功能
?提供真空动力源。
?配合 CHUCK上的真空吸附孔来固定样品。
?配合真空吸附型探针座，固定探针座。
特点
●无油静音，特别适合实验室和洁净室使用。
●7升/分钟，可24小时无间断运转。



7、防震桌      


特点：隔振支撑采用**薄复合材料气囊、自定心准无摩擦球头摆杆和带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术，隔振性能良好。自动水平，自动充气，全部气动执行元件采用德国FEST0产品，静音空气压缩机气源、噪声低。

应用范围：适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。

技术参数：
台面为三层夹心蜂窝状支撑结构，采用ICR17优质高导磁不锈钢
平台表面粗糙度0.5?0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2?
固有频率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重复定位精度±0.10 mm
工作压力0.2~0.6(Mpa)


具体尺寸可根据客户需求定制



8、屏蔽箱   
CINDBEST CB-6

参数和特点
?尺寸：880mm宽x710mm长x1140mm高
?屏蔽光线和电磁干扰。
?匹配探针台和防震桌设计。 
?与探针夹具配合可将测试电信号的漏电精度达到100fa ，可抗2000V高压。
?屏蔽箱上配备转接头，便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接。
?上掀式结构，节约空间，操作便捷。
?可根据客户需求定制。





五、探针台的使用

1、将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。

4、显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

5、待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，较后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。



六、维护和保养

1、避免碰撞

?在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。


2、仪器的运输

?仪器运输时，请先拔掉电源线插头。
?仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。


3、仪器的存放

?使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。
?探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。
?探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。
?停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命. 
?操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。